白光干涉三維輪廓儀利用光學(xué)干涉原理，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品功能

(1)白光干涉三維輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

部分技術(shù)指標(biāo)

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白光干涉三維輪廓儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密z向掃描模塊和優(yōu)異的3d重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性；

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成x、y、z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件zstop設(shè)置z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

白光干涉儀的自動拼接測量功能，不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu)，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候，可以根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換。