超純水水質(zhì)指標常用的是電阻率，總有機碳，顆粒，熱源         超純水水質(zhì)指標分為一級超純水水質(zhì)指標和二級超純水水質(zhì)指標  分別為電阻率（25℃）mω。cm≥15  ≥10  2。電導率μs/cm0.05  0.1     3.   ph值6.8-7.2   6.6-7.4    4.細菌 總數(shù)個/ml  ＜3 ＜9  5.微粒（直徑＞0.5μm,粒/ml)＜150  ＜300  6.  二氧化硅＜10   ＜20   7.有機物（以cod計）＜0.3 ＜0.5  8.鈉 n＜0.5 ＜2  

無